上海宏力半导体制造有限公司是一家从事半导体晶圆制造的专业代工企业,座落于上海市浦东张江高科技园区内,占地面积24万平方米。已建成三座12英寸规格的厂房,其中一厂(8英寸)已满载,月生产能力可达40,000片8英寸硅片。
问题:上海宏力半导体制造有限公司(GSMC)近几年来一直受到电压暂降造成敏感设备停机停运的困扰。平均每年约8~10次的电压暂降造成晶圆产品报废、工厂停机停产等直接经济损失和恢复生产所造成的间接经济损失。
解决方案:上海捷实科技有限公司协助上海宏力半导体制造有限公司通过对该半导体制造生产工艺及敏感设备的现场电能质量评估,结合历年来电压暂降造成设备停机停产故障记录,采用美国索奇科技公司(SoftSwitching)无电池、免维护、高效节能环保、高可靠性的动态电压暂降补偿器DySC保护其敏感工艺和设备,安装DySC后,敏感设备每次都成功化解了电压暂降的影响。目前上海宏力半导体所已经采购安装了MegaDySC、ProDySC、MiniDySC共计约20~30台,为缓解电压暂降的影响起到了关键作用。
结果:上海宏力半导体制造有限公司采用DySC保护其敏感的工艺设备并成功抵抗了严峻的电压暂降事件,使敏感设备连续正常运行。DySC的电压暂降保护性能得到GSMC的高度认可。